ITO雙拼平面靶材
恒博公司在過去的一年中,通過不間斷的實驗以及自主研發,成功在四拼靶材的技術基礎上,突破"ITO雙拼平面靶材"的技術瓶頸。
雙拼靶材相較于以往的四拼靶材可以明顯的降低因縫隙多造成的濺射后,異物多,良率低的問題。
恒博"ITO雙拼平面靶材"在通過友商數月的不間斷上機測試后,一次性通過上機測試要求,結果符合實際使用需求。
作為國內同時兼具獨立研發生產制造"ITO平面靶材"以及"ITO環形靶材"的生產商,恒博在此項技術的突破,再次為我國ITO靶材國產化進程添磚加瓦。
技術參數
單塊長度:1325mm
厚度:8mm
*注:以上參數僅供參考,可根據客戶實際需求,適當調整。